硅压力传感器，又叫扩散性半导体压力传感器。下面是三种主流的硅压力传感器类型。
1.血压计用硅压力传感器
这种类型的传感器在80℃以下测定空气等非腐蚀性气体，需用硅凝胶等软质树脂进行封装，即把硅圆片粘接在金属底座上，再引出连接线。为提高可靠性而用硅凝胶填充定形，其优点是成本很低。其原理是，待测气体通过与管壳上的管子连接的橡胶管导入，压力通过硅凝胶的传导，作用到圆形隔片的上部，其下部受到大气的压力，在受压的场合下，两个压力差使得隔片变成凹形。
2.汽车用硅压力传感器
这种硅压力传感器，由于是安装在引擎系统中，要耐受汽油蒸汽的110℃的高温，为使其稳定工作，这里就不能使用树脂，而需要在金属底座上用玻璃把硅片和硅台座连接起来。
汽车压力传感器
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