PVD镀膜(Physical Vapor Deposition)是一种常用的表面处理技术,起源于20世纪60年代。以下是PVD镀膜的发展历史:
1. 早期研究和应用(20世纪60年代):PVD镀膜最早是用于制备电子器件,如集成电路和光电子元件。早期的PVD设备主要是通过蒸发源将固态材料蒸发,然后在基材表面沉积。
2. 快速发展(70年代至80年代):在这一时期,PVD镀膜技术逐渐得到了广泛的应用,尤其是在汽车制造和建筑行业。磁控溅射(Magnetron sputtering)技术的引入使得镀膜速度和质量得到了大幅提升。
3. 制备多层膜(90年代至今):进入90年代,PVD技术开始用于制备多层膜,其中包括具有不同功能的纳米结构。这种多层膜可以提供更好的光学、电学、磁学和防腐蚀性能。
4. 高能源密度PVD技术(近年来):随着科技的发展,PVD技术越来越注重提高能源利用率和镀膜的质量。高能量密度溅射技术(HiPIMS)和超高真空溅射技术(UHVMS)等新技术的引入使得PVD技术的性能得到了进一步提升。
PVD镀膜技术经过几十年的发展,从最初的简单蒸发沉积技术发展到了现在多种多样的技术和应用领域,广泛应用于电子器件、汽车制造、建筑、光学、磁学等领域。并且随着科技的不断进步,PVD技术在性能和应用范围上还有很大的发展潜力。
汽车镀膜
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