大面积多层膜沉积技术
一、大面积薄膜沉积设备介绍及工艺流程
1、溅射原理
定义:溅射镀膜是一个极其复杂的过程,溅射沉积过程中,一般把受到离子轰击的表面看作供应材料,作为生长薄膜的源。
1.电离工作气体,Ar等;
2.使工作粒子获得足够的能量,并轰击源物质的固体表面;
3.与源物质分子或者原子交换能量,使源物质从固体表面溅射出来;
4.固体分子或者原子溅射出来后,向基片方向输运;
5.薄膜的形成
2、连续溅射镀膜线配置
靶材的结构和尺寸
Si靶或者Ti
110mm×1150mm
中频交流反应磁控溅射
3、基架回件与抽气系统
4、靶材的结构和尺寸
汽车玻璃
5、设备工作流程
6、工艺流程过程控制
二、            大面积AR Coating 连续溅射技术
1、需有高折射率(H)和低折射率(L)两种材料(中折射率(M)材料);
1、多层介质膜干涉理论
光束在多层介质膜中的传输模型
2、多层膜干涉的条件
2、需有高低折射率材料形成交替的叠层,产生对特定波长光的干涉效应;
3、各层材料需由真空蒸发、溅射或者溶胶-凝胶法(SolGel)等方法形成膜层,高低折射率层形成干涉界面;
4、同一层必须保证为各向同性(保证膜层厚度一致,折射率一致);
5、各层膜层在工作波长内区域内吸收很小或者没有吸收。
3、抗反射AR)增透膜
定义:减反射增透膜( AntiRefletance简称AR膜) 是在玻璃基片上镀多层复合光学膜,采用低折射率(L)和高折射率(H)材料交替形成膜堆,通过精心的膜层设计和膜厚严格控制,利用干涉效应减少基片表面反射。
抗反射增透膜的应用领域。
液晶显示(LCD
液晶电视(LCDTV
触摸屏液晶显示(TPLCD
汽车玻璃
太阳能电池
阴极射线管显示(CRT
等离子显示(PDP
手机屏
汽车表盘
仪表显示板
作用:增加背光源的透射率,减少外界光线的反射;获得高的彩对比度;同时获得好的外观彩。
4、抗反射增透射的LCD效果
5、传统LCD显示和镀AR CoatingLCD显示屏的对比:
目前防反射技术:可以减少外部光线的反射强度。
缺点:
1、反射光将使图像模糊;
2、使LCD的图像失真。
AR CoatingLCD显示屏
1、减小反射光强度,表面反射降低到0.5%以下,防止产生眩光;
2、表面为光滑的镀膜面,减少图像失真;
3、增加LCD的出射光强度,增加图像的对比度;
4、可以产生更宽的视角;
5LCD显示彩更鲜明。
6、抗反射膜的膜结构设计
ARAnti-Reflective Glass)光学技术与护眼涂层的结合,不仅可以有效防眩防反光,同时具备最高达99.5%的超高的透光率及超亮彩性能。
抗反射膜的膜结构设计:
应用领域:汽车玻璃、太能电池等;
抗反射特点:
1、可见光透过率最高峰值99%
可见光平均透过率超过95%,大幅提高LCDPDP原有亮度。
2 平均反射率低于4%,最低谷值0.5%
有效削弱因背后强光导致画面变白之缺憾,享受更清晰的影像画质。
3、彩更艳丽、对比更强
使图像彩对比更强烈,景物更清晰。
4、抗紫外线,有效保护眼睛
紫外线光谱区透过率大幅降低,可有效阻绝紫外线对眼睛之伤害。
5、良好的导热性
良好的导热性能,克服了目前使用的镀膜压克力不易导热的弱势,从而防止PANEL过热,延长了LCD寿命。
6、膜层附着能力强
"新济达“AR玻璃使用是磁控溅射沉积膜层,通过光学折射原理,提高玻璃透光度。
7 耐高温
AR玻璃耐温>500(一般压克力只能耐温80)
8、防刮耐磨性最佳
AR玻璃膜层硬度与玻璃相当,大于7H,(一般PC板硬度约为2H3H)。
9、可耐各种清洁剂清洗
耐酸、碱清洗剂之擦拭,膜层不受损坏。
10、抗冲击性强
3mm厚度玻璃的冲击性能相当于6mm压克力。
11、保持视角
一般压克力在安装后,视角会边小;而AR玻璃装上后,视角不会变小。
12、外观
AR玻璃表面平整度远远优于镀膜压克力,并且尺寸越大,相差越明显。
13AR玻璃冷热变形几乎可以省略不计,适用于各类环境;同时,AR玻璃具有琉璃感,外观更漂亮。
7、技术难点
§        1、多层膜连续反应溅射气路设计;
§        2、多层膜连续反应溅射靶材布置;
§        3、多层膜大面积镀膜均匀控制;
§        4、多层膜光学设计与厚度控制。