大面积多层膜沉积技术
一、大面积薄膜沉积设备介绍及工艺流程
1、溅射原理
定义：溅射镀膜是一个极其复杂的过程，溅射沉积过程中，一般把受到离子轰击的表面看作供应材料，作为生长薄膜的源。
1.电离工作气体，Ar等；
2.使工作粒子获得足够的能量，并轰击源物质的固体表面；
3.与源物质分子或者原子交换能量，使源物质从固体表面溅射出来；
4.固体分子或者原子溅射出来后，向基片方向输运；
5.薄膜的形成
2、连续溅射镀膜线配置
靶材的结构和尺寸
Si靶或者Ti靶
110mm×1150mm
中频交流反应磁控溅射
3、基架回件与抽气系统
、靶材的结构和尺寸
汽车玻璃膜
5、设备工作流程
6、工艺流程过程控制
二、大面积AR Coating 连续溅射技术
1、需有高折射率（H）和低折射率（L）两种材料（中折射率（M）材料）；
1、多层介质膜干涉理论
光束在多层介质膜中的传输模型
2、多层膜干涉的条件
2、需有高低折射率材料形成交替的叠层，产生对特定波长光的干涉效应；
3、各层材料需由真空蒸发、溅射或者溶胶－凝胶法（Sol－Gel）等方法形成膜层，高低折射率层形成干涉界面；
4、同一层必须保证为各向同性（保证膜层厚度一致，折射率一致）；
5、各层膜层在工作波长内区域内吸收很小或者没有吸收。
3、抗反射（AR）增透膜
定义：减反射增透膜（ Anti－Refletance简称AR膜） 是在玻璃基片上镀多层复合光学膜，采用低折射率（L）和高折射率（H）材料交替形成膜堆，通过精心的膜层设计和膜厚严格控制，利用干涉效应减少基片表面反射。
抗反射增透膜的应用领域。
液晶显示（LCD）
液晶电视（LCD－TV）
触摸屏液晶显示（TP－LCD）
汽车玻璃
太阳能电池
阴极射线管显示（CRT）
等离子显示（PDP）
手机屏
汽车表盘
仪表显示板
作用：增加背光源的透射率，减少外界光线的反射；获得高的彩对比度；同时获得好的外观彩。
4、抗反射增透射的LCD效果
5、传统LCD显示和镀AR Coating的LCD显示屏的对比：
目前防反射技术：可以减少外部光线的反射强度。
缺点：
1、反射光将使图像模糊；
2、使LCD的图像失真。
AR Coating的LCD显示屏
1、减小反射光强度，表面反射降低到%以下，防止产生眩光；
2、表面为光滑的镀膜面，减少图像失真；
3、增加LCD的出射光强度，增加图像的对比度；
4、可以产生更宽的视角；
5、LCD显示彩更鲜明。
6、抗反射膜的膜结构设计
AR（Anti-Reflective Glass）光学技术与护眼涂层的结合，不仅可以有效防眩防反光，同时具备最高达%的超高的透光率及超亮彩性能。
抗反射膜的膜结构设计:
应用领域：汽车玻璃、太能电池等；
抗反射特点：
1、可见光透过率最高峰值99%
可见光平均透过率超过95％，大幅提高LCD、PDP原有亮度。
2、 平均反射率低于4%，最低谷值%
有效削弱因背后强光导致画面变白之缺憾，享受更清晰的影像画质。
3、彩更艳丽、对比更强
使图像彩对比更强烈，景物更清晰。
4、抗紫外线，有效保护眼睛
紫外线光谱区透过率大幅降低，可有效阻绝紫外线对眼睛之伤害。
5、良好的导热性
良好的导热性能，克服了目前使用的镀膜压克力不易导热的弱势，从而防止PANEL过热，延长了LCD寿命。
6、膜层附着能力强
"新济达“AR玻璃使用是磁控溅射沉积膜层，通过光学折射原理，提高玻璃透光度。
7、 耐高温
AR玻璃耐温>500度(一般压克力只能耐温80度)
8、防刮耐磨性最佳
AR玻璃膜层硬度与玻璃相当,大于7H，（一般PC板硬度约为2H至3H）。
9、可耐各种清洁剂清洗
耐酸、碱清洗剂之擦拭，膜层不受损坏。
10、抗冲击性强
3mm厚度玻璃的冲击性能相当于6mm压克力。
11、保持视角
一般压克力在安装后，视角会边小；而AR玻璃装上后，视角不会变小。
12、外观
AR玻璃表面平整度远远优于镀膜压克力，并且尺寸越大，相差越明显。
13、AR玻璃冷热变形几乎可以省略不计，适用于各类环境；同时，AR玻璃具有琉璃感，外观更漂亮。
7、技术难点
§1、多层膜连续反应溅射气路设计；
§2、多层膜连续反应溅射靶材布置；
§3、多层膜大面积镀膜均匀控制；
§4、多层膜光学设计与厚度控制。