1#化学药品泵
D
D
C
C
C
C
B
A
汽车尾气处理装置图喷淋泵
排水阀
MOCVD
及气柜排出的尾气流向图
加水阀
真空腔
3#化学药品泵
2#化学药品泵
二．原理说明
1.处理方式：
外延尾气处理机的工作方式是湿法化学反应法。图中红箭头为含氢、砷、硅和磷等化学元素的废气，通过管道输送进尾气处理机，处理后将符合要求的气体排入大气，将反应后生成的废水（含氢、砷、硅和磷等化学元素）排到厂务污水处理站进行处理。
2.气体流向：
图中红箭头为含氢、砷、硅和磷等化学元素的废气，经过1#、2#反应室，反应室上方的喷嘴喷出化学药剂与尾气反应。尾气经过反应后，箭头颜由红变紫、由紫变粉、由粉变白，表示尾气成分由有害逐渐变为无害气体，最终排入大气中。
3. 液体流向：
图中黑箭头为设备液体流向示意，液体大约分四类：A.清水由加水阀供给，水质为普通市政用水，用做调配反应试剂的液基。B.三种化学药品（液态）,通过剂量泵将三种不
同的化学药品按照酸碱性和氧化性注入清水中，调成与外延尾气反应的化学制剂。C.调好的化学反应试剂，其由A+B调出并通过喷液泵分别压到真空腔、1#反应室、2#反应室，将尾气带入设备并与尾气中的氢、砷、硅和磷等化学元素发生化学反应产生溶于水或不溶于水的固体，沉到水箱底部的液体中。D.饱和溶液，化学反应试剂不断的有反应废物的沉积和化学药品的加入变成过饱和溶液，处理尾气的能力逐渐变低。经过一定反应时间就要将全部将这些饱和溶液通过排水阀排到厂务的废水处理池。重新加入清水和药品进入下次循环周期。
芯片尾气处理机工作原理
一．工作原理图：
高压空气
燃烧室
低密滤芯
高密滤芯
二．原理说明：
1.处理方式：
芯片尾气处理机的工作方式是干法高温燃烧反应法。图中绿条状线为含Si、cl、C2H4等的尾气，是来自芯片气柜、ICP、PECVD来的废气组成，通过管道输送进尾气处理机。红条状线为加热热丝将上述气体加热并与空气中的氧气发生反应，反应物由水带走，处理后将符合要求的气体排入大气，将反应后生成的废水（含硅、氯等元素），排到厂务污水处理站进行处理。
2.工作原理：
图中绿条状线含Si、cl、C2H4等的尾气，进入燃烧室与同样进入其中的空气中的氧气混合燃烧。产生无害的二氧化碳气体及大量粉尘，粉尘通过低密度滤芯和高密度滤芯被拦下来并被冲到水中，废水通过溢流排到厂务的废水处理池。无害气体排入大气。
发布评论