一种MEMS压阻式压力传感器及其制造方法
(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利说明书(10)申请公布号 CN 104062059 A(43)申请公布日 2014.09.24(21)申请号 CN201410264612.1(22)申请日 2014.06.13(71)申请人 浙江工业大学 地址 310014 浙江省杭州市下城区潮王路18号浙江工业大学科技处(72)发明人 蒋恒 孙笠 董健 (74)专利...
2024-04-21 48 0
(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利说明书(10)申请公布号 CN 104062059 A(43)申请公布日 2014.09.24(21)申请号 CN201410264612.1(22)申请日 2014.06.13(71)申请人 浙江工业大学 地址 310014 浙江省杭州市下城区潮王路18号浙江工业大学科技处(72)发明人 蒋恒 孙笠 董健 (74)专利...
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