外延及芯片尾气处理机工作原理
外延尾气处理机工作原理1#化学药品泵2#反应室1#反应室厂务排风一.工作原理图:DDCCCCBA汽车尾气处理装置图喷淋泵排水阀MOCVD及气柜排出的尾气流向图加水阀真空腔3#化学药品泵2#化学药品泵 二.原理说明 1.处理方式:外延尾气处理机的工作方式是湿法化学反应法。图中红箭头为含氢、砷、硅和磷等化学元素的废气,通过管道输送进...
2024-07-24 2 0
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河南省厂务公开领导小组文件豫厂开文[2008]02号关于表彰全省厂务公开民主管理工作先进单位和先进个人的决定 推行厂务公开工作10年来,特别是近5年来,在省委、省政府的高度重视和正确领导下,全省各级厂务公开领导小组及其工作机构、企事业单位,以理论和“三个代表”重要思想为指导,认真贯彻党的十六大和十七大精神,全面贯彻落实科学发展观,按照中央、省两办关于在国有企业、集体企业及其控...