一种MEMS压阻式压力传感器及其制造方法
(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利说明书(10)申请公布号 CN 104062059 A(43)申请公布日 2014.09.24(21)申请号 CN201410264612.1(22)申请日 2014.06.13(71)申请人 浙江工业大学 地址 310014 浙江省杭州市下城区潮王路18号浙江工业大学科技处(72)发明人 蒋恒 孙笠 董健 (74)专利...
(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利说明书(10)申请公布号 CN 104062059 A(43)申请公布日 2014.09.24(21)申请号 CN201410264612.1(22)申请日 2014.06.13(71)申请人 浙江工业大学 地址 310014 浙江省杭州市下城区潮王路18号浙江工业大学科技处(72)发明人 蒋恒 孙笠 董健 (74)专利...
机油压力传感器压阻式的工作原理1压力传感器的作用机油压力传感器是汽车发动机的重要组成部分之一,它主要的作用是对发动机内润滑系统中的油压进行监测和检测。在发动机转动的时候,机油通过发动机内部的油路来润滑和冷却发动机的各个部位,而机油压力传感器监测该油路中的油压情况。如果机油压力太低,就会引起发动机内部的零部件磨损加剧,进而引起发动机过热、工作不正常,严重时还会导致发动机损坏。汽车发动机工作原理2压阻...
压力传感器汽车压力传感器压力传感器是工业实践、仪器仪表控制中最为常用的一种传感器,并广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。力学传感器的种类繁多,如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器及电容式加速度传感器等。但应用最为广泛的是压阻式压力...
压阻式压力传感器利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后,电阻率发生变化,通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出。压阻式传感器用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量(如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度)的测量和控制)。 压阻效应 当力作用于硅晶体时,晶体的晶格产生变形,使载流子从一个能谷向另一个能谷散射,引起载流子的迁移...
压阻式传感器的检测原理及应用一、压阻式传感器的工作原理压阻式传感器是一种能够根据外力大小来改变其电阻值的传感器。其工作原理基于材料的压阻效应,即当外力作用于传感器时,传感器内部的导电材料会发生形变,进而改变其电阻值。压阻式传感器通常由导电薄膜、电极和基座等组成。当外力施加在传感器的感应面上时,导电薄膜会发生微小的形变,导致电阻值发生变化。通过测量电阻值的变化,可以推算出外力的大小。二、压阻式传感器...