一种MEMS压阻式压力传感器及其制造方法

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利说明书(10)申请公布号 CN 104062059 A(43)申请公布日 2014.09.24(21)申请号 CN201410264612.1(22)申请日 2014.06.13(71)申请人 浙江工业大学    地址 310014 浙江省杭州市下城区潮王路18号浙江工业大学科技处(72)发明人 蒋恒 孙笠 董健 (74)专利...

2024-04-21 48 0

压阻压力传感器的主要特点

压阻压力传感器的主要特点压阻式压力传感器是一种常见的传感器类型之一,其基本原理是通过检测压力对薄膜或陶瓷材料的变形程度而测量所感知的压力大小。压阻压力传感器具有以下几个主要特点:高精度压阻压力传感器通常具有高精度的特点,它们可以测量非常微小的压力变化,例如,小于1kPa的压力变化。范围广压阻压力传感器可以应用于各种应用场景,例如,军事、医疗、工业、航空、汽车等领域。反应迅速压阻压力传感器具有非常快...

2024-02-27 26 0
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