外延尾气处理机工作原理1#化学药品泵2#反应室1#反应室厂务排风一．工作原理图：DDCCCCBA汽车尾气处理装置图喷淋泵排水阀MOCVD及气柜排出的尾气流向图加水阀真空腔3#化学药品泵2#化学药品泵    二．原理说明      1.处理方式：外延尾气处理机的工作方式是湿法化学反应法。图中红箭头为含氢、砷、硅和磷等化学元素的废气，通过管道输送进...