洁净室VOC污染控制
洁净室VOC污染控制难点分析VOC污染物对工艺的影响:酸:使曝光机镜头不透明,造成曝光量变化。腐蚀设备,造成环境中的颗粒污染。碱:使曝光机镜头不透明,造成曝光量变化。造成显影缺陷。有机物:沉积在产品的表面,成膜不均匀,降低绝缘电阻值。有机物在产品表面形成碳化硅掺杂类:影响掺杂的准确性,影响电压漂移解决措施1、洁净室材料选用不产生VOC污染的材质;1)环氧地坪、高架地板、彩钢板、FFU龙骨、各类...
2024-04-21 45 0
洁净室VOC污染控制难点分析VOC污染物对工艺的影响:酸:使曝光机镜头不透明,造成曝光量变化。腐蚀设备,造成环境中的颗粒污染。碱:使曝光机镜头不透明,造成曝光量变化。造成显影缺陷。有机物:沉积在产品的表面,成膜不均匀,降低绝缘电阻值。有机物在产品表面形成碳化硅掺杂类:影响掺杂的准确性,影响电压漂移解决措施1、洁净室材料选用不产生VOC污染的材质;1)环氧地坪、高架地板、彩钢板、FFU龙骨、各类...
项目小计项目小计2474.55(一 ) 地面及楼板项目2395.49(二 ) 吊顶及天棚项目项目小计内饰改项目小计(四 ) 门窗项目4583.00(三 ) 墙面及隔墙项目2020.92项目小计项目小计(五 ) 家具项目(六 ) 涂料项目10819.788624.60项目小计(七 ) 水电项目7474...